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高潔淨真空閘閥組件之微粒檢測系統
儀科中心榮獲「第十三屆 計量科技研發創意獎」

國家實驗研究院儀器科技研究中心與國內真空設備製造產業「新萊應材科技有限公司」及虎尾科技大學、中央大學等學界合作,共同開發國內第一套「高潔淨真空閘閥組件之微粒檢測系統」,以解決國內產業自主化供應需求並提升市場競爭力,共同榮獲中華民國計量工程學會「第十三屆計量科技研發創意獎」。

真空技術在各領域具有廣泛運用,其中半導體產業每年在真空製程設備的支出更高達千億美元之譜,而高潔淨真空應用材料的高品質要求隨科技發展日趨嚴格。因應科技發展的快速演進,真空元件必須符合耐久性、可靠度、高潔淨度等要求,方能達到製程設備之高穩定性,持續生產高品質產品。此外,國內設備與真空系統多仰賴國外進口,故對設備的支出及後續維護均造成業界相當大的負擔。本系統主要是針對真空閘閥組件長時間作動 (例如長達 50 萬次作動時間) 所產生的超細微粒,進行全程監控與元素分析,即時分析微量污染源,其中可偵測超細微粒 (尺寸最小可達 1 nm;濃度最大可達 107 particles/ cm3 ),系統校正用傳遞標準件追溯至美國 NIST、德國 PTB 等單位,有效驗證產品品質與可靠度,作為次世代產品設計依據。此外本中心亦以本身TAF認可標準實驗室的建置基礎與真空技術,建立特性檢測與標準化分析程序,符合 ISO/ IEC 17025及ISO 15900國際標準規範。將這些技術導入產業運作,使廠商具備嚴謹並符合國際標準之品質管理系統,使其產品之品質標準(quality standard)及相容性標準(compatibility standard)皆能達到客戶需求和國際認可,並提升國內高真空閘閥產品品質監控與驗證技術,並促使國內真空閘閥產品符合國際要求,可促進國內真空閘閥組件之全球銷售量,目前預估全球每年約有 30 億新台幣的產值。若台灣在地品牌可以獲得該領域市場 20%,可創造 6 億的營業額。

儀科中心「高潔淨真空閘閥組件之微粒檢測系統」榮獲「第 13 屆計量科技研發創意獎」

本中心品質政策秉持「精準 (Precision)」、「創新 (Innovation)」、「敬業 (Dedication)」、「樂群 (Cooperation)」,執行品質管理系統以確保實驗室品質系統及技術能力水準,提昇校正服務公正性及公信力,以維護實驗室服務顧客之整體品質目標。本中心於真空領域的發展,已逾四十餘年,為我國真空技術研發的重鎮。因應國家科技發展政策、產業昇級之使命,積極投入儀器設備產業及關鍵元組件自主化供應之研究。此合作結合雙方研究能量,以國家級前瞻技術,建立產業界設備自製及自主研發能力,未來更可設備產業進行串聯,帶動上下游關鍵元組件在地化發展,並導入產業供應鏈,落實設備產業及關鍵元組件自主化供應的目標,促使台灣產業競爭力不斷升級。

更新日期:2017 年 3 月 29 日