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垂直整合半導體自主技術
儀科中心成立「原子層沉積聯合實驗室」與產學界共同推動半導體產業發展

為推動我國半導體產業發展,國家實驗研究院儀器科技研究中心成立「原子層沉積聯合實驗室」服務平台,於2015年3月4日舉辦揭牌儀式,同時與台灣積體電路股份有限公司簽訂合作協議,並邀請國內學界及供應商,包括清華大學、虎尾科大、南美特、漢民科技、漢民微測、漢辰科技、大甲永和、柏朗豪斯特與美商MSP等,共同聚焦於原子層沉積製程設備與材料開發,合作推動台灣半導體產業發展。此一實驗室的建立亦顯示儀科中心以累積已久的先進薄膜製程、真空儀器系統發展技術跨足台灣半導體產業的決心。與會的台積電孫元成副總經理期勉在場的伙伴嘉賓,整合產、學、研三方能量共同推動此一服務平台,將提升我國半導體製程設備技術與化學材料開發的研發實力。

在半導體的製程中,原子層沉積技術(atomic layer deposition, ALD)由於具有極佳的薄膜成長厚度控制性、階梯覆蓋性與大面積均勻性,已成為半導體產業的一項主流技術,然而目前台灣的半導體產業設備供應鏈中,卻鮮少具有競爭力的薄膜製程設備供應商。依照ALD產業的成長趨勢,2015年台灣在ALD設備及原材料的需求,預估將達到77億元的產值,但國內半導體廠必須仰賴國外的設備商提供製程設備及前驅物材料,造成業者在成本上的負擔及技術上的限制,更無法掌控未來技術的發展藍圖。

儀科中心深耕真空系統研製技術40年,為國內太空遙測技術、真空鍍膜、光學鏡片研磨首屈一指的專業實驗室與儀器設備開發中心。儀科中心已投入ALD相關研究逾10年,累積豐厚的技術能量,並已提供學界多套自製ALD系統。現在儀科中心更進一步與台積電及產學各界推動成立「原子層沉積聯合實驗室」,希望能將本身的ALD技術能量推廣到業界,提供半導體製造業ALD製程設備測試與開發驗證之服務平台。

平台三大服務內容為:

  1. 前驅物的合成與篩選測試-提供學研界對於前驅物材料的鍍膜測試;
  2. 製程測試與驗證服務-供給產業界製程參數的調變測試與驗證;
  3. 客製化ALD設備與腔體開發-提供客製化的真空腔體設計與系統整合服務。

儀科中心期望透過與台積電強而有力的伙伴關係,整合產、學、研三方能量,共同推動此一服務平台,提升我國半導體製程設備與化學材料開發技術。

藉由「原子層沉積聯合實驗室」服務平台,儀科中心ALD團隊也不斷提升自我能力,並實現先進系統設計與相關材料開發。儀科中心期許能藉由與產學界多方合作的經驗累積,掌握奈米製程與元件整合技術應用的前瞻技術新趨勢,成功扮演儀器系統開發與技術服務的角色。

國研院綦振瀛副院長 (左)、台積電孫元成副總經理 (右)、簽訂合作協議,共同推動半導體產業新趨勢。
國研院綦振瀛副院長 (左四)、台積電孫元成副總經理 (右五),以及清大理學院劉瑞雄院長 (右四)、儀科中心葉哲良主任 (左四)、虎尾科大周榮源教授 (左三)、MSP美商Yamin馬總經理 (左二)、大甲永和楊坤松副總經理 (左一)、南美特邱正杰董事長特助 (右三)、漢民微測林志隆協理 (右一)以及柏朗豪斯特鍾亞衛經理 (右二)等人共同啟動原子層沉積聯合實驗室服務平台。
全體與會貴賓合影。

更新日期:2015 年 3 月 4 日