國研院儀科中心核心技術
核心技術
- 光電遙測技術
- 儀器系統整合技術
- 光學與機械精密製作檢測技術
- 微米及奈米結構製程技術
- 真空系統與鍍膜技術
核心設施
- 影像光譜儀觀測系統
- 聚焦離子束蝕刻系統
- 原子層沉積系統
- 離子束輔助濺鍍系統
- 表面探針顯微系統
- 掃描式電子顯微鏡
- CGH 干涉儀
- 表面輪廓儀
- TAF認證實驗室
服務平台
- 遙測影像服務平台
- 儀器技術整合服務平台
- 嵌入式儀控技術服務平台
- 光學設計實作服務平台
- 微型生醫儀器開發服務平台
- 真空製程與檢測技術服務平台
- 儀器技術訓練服務平台
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2011年起整合相關平台，開發「綠色科技儀器技術平台」及「智慧型視覺化儀器技術平台」， 以因應學術研究及高科技產產業需求。
更新日期：2011 年 2 月 16 日
