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微機電系統技術與應用

微機電系統技術與應用封面

本中心匯集全國菁英所編纂之「微機電系統技術與應用」一書,已隆重出版。

定價:精裝本 1500 元,平裝本 1200 元

本書邀集了微機電技術領域近百位專家學者共同執筆撰寫。全書共十四章、 一千三百餘頁, 從基礎微加工製程開始,詳述矽基與非矽基微加工製程技術,並探討微機電材料, 介紹微結構與微感測器、微致動器等元件技術,進而說明系統的整合與介面、 系統的封裝,以及相關檢測與模擬分析技術。最後則廣泛介紹微機電系統的應用, 並以微機電系統的遠景及未來發展作為邁向奈米機電技術的跳板。

更新日期:2009 年 6 月 25 日