真空技術與應用－編審委員
- 呂助增
- 國立清華大學物理研究所教授
- 李正中
- 國立中央大學光電科學研究所教授
- 李金宏
- 台灣積體電路股份有限公司校正中心部經理
- 李青彥
- 東品真空工業股份有限公司總經理
- 周亞謙
- 國立清華大學物理研究所教授
- 周榮源
- 國科會精密儀器發展中心副研究員
- 洪賑堂
- 弘愛玻璃股份有限公司董事長
- 凌國基
- 私立輔仁大學物理學研究所教授
- 翁恆義
- 國立中山大學電機工程研究所教授
- 高健薰
- 國科會精密儀器發展中心副研究員
- 張守進
- 國立成功大學電機工程研究所教授
- 張郁雯
- 國科會精密儀器發展中心副研究員
- 張慎周
- 百成萊寶股份有限公司經理
- 莊健三
- 工業技術研究院機械研究所半導體製程設備組組長
- 陳宗欣
- 台灣日真股份有限公司總經理
- 陳俊榮
- 同步輻射研究中心副研究員
- 陳英忠
- 國立中山大學電機工程研究所教授
- 陳峰志
- 國科會精密儀器發展中心工程師
- 陳錦山
- 私立逢甲大學材料科學研究所教授
- 游文乾
- 聯華電子股份有限公司副廠長
- 楊立中
- 國立虎尾技術學院機械材料科教授
- 楊照彥
- 美國立台灣大學應用力學研究所教授
- 廖鶯鶯
- 國科會精密儀器發展中心副工程師
- 熊高鈺
- 同步輻射研究中心副研究員
- 鄭晃忠
- 國立交通大學電子物理研究所教授
- 鄭鴻斌
- 國科會精密儀器發展中心副研究員
- 蘇炎坤
- 國科會工程技術發展處處長
- (按姓名筆劃序)
更新日期：2009 年 6 月 25 日
