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真空技術組簡介 |
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佈 告 欄 |
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研究成員 |
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專利與著作 |
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光學薄膜設備及製程技術 |
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簡 介: 真空檢校能量在現今科技世界中扮演著廣泛且重要的任務，隨著科學技術和工業需要而日形重要，本中心深切瞭解學研界與業界在真空量測技術寬廣的量測範圍與準確的量測數據需求，遂而建立真空標準室，發展真空檢校能力，以應需要，為推廣應用，服務各界，乃響正屬於我國與世界認證制度相容的ISO/IEC 17025 校正及測試實驗室能力一般要求之認證規範，並通過現場評鑑認可與授證，以昭信於大眾。 |
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薄膜測試實驗室 |
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原子層沉積技術(ALD) |
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脈衝雷射蒸鍍系統(PLD) |
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化學束磊晶系統(CBE) |
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奈米球模板 |
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系統委製維修技術服務 |
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CNLA認證真空校正實驗室 |
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應用領域: 1.建立並推廣真空校正技術 2.提升業界真空系統技術能力 |
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