真空技術組簡介 佈 告 欄 研究成員 專利與著作

 

光學薄膜製程及檢測技術

光學薄膜設備及製程技術

薄膜檢測技術

 奈-微米薄膜元件技術開發

 原子層沉積技術(ALD)

脈衝雷射蒸鍍系統(PLD)

化學束磊晶系統(CBE)

奈米球模板

 真空系統及標準檢校技術

 系統委製維修技術服務

CNLA認證真空校正實驗室

   
       
  組長 副組長        
  陳至信 蕭健男          
               
  劉達人 潘漢昌 李昭德        
               
  蘇健穎 柯志忠 林郁洧 陳宏彬 張永欣    
               
  陳維鈞 邱柏凱 林秀芬 卓文浩      
               
  彭淑端 莊春錦 張峻銘 呂日清 林炳宏 林建寶