真空技術組簡介 佈 告 欄 研究成員 專利與著作
光學薄膜製程及檢測技術
光學薄膜設備及製程技術
薄膜檢測技術
奈-微米薄膜元件技術開發
原子層沉積技術(ALD)
脈衝雷射蒸鍍系統(PLD)
化學束磊晶系統(CBE)
奈米球模板
真空系統及標準檢校技術
系統委製維修技術服務
CNLA認證真空校正實驗室