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真空技術組簡介 |
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佈 告 欄 |
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研究成員 |
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專利與著作 |
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光學薄膜設備及製程技術 |
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研究目的: 奈米球模板技術為成長奈米結構材料之重要製程，其原理係以自組裝奈米球作為模板，快速地製作大面積週期性奈米結構，可結合相關真空薄膜及微機電製程可開發各種奈米顆粒陣列、奈米碳管與模仁結構。 |
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薄膜測試實驗室 |
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原子層沉積技術(ALD) |
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脈衝雷射蒸鍍系統(PLD) |
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化學束磊晶系統(CBE) |
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奈米球模板 |
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系統委製維修技術服務 |
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技術能量: 1.III-V 族氮化物磊晶片成長 2.低維度光電材料製備 3.in-situ即時監控磊晶成長
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CNLA認證真空校正實驗室 |
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規 格: 1.奈米球尺寸： 200、400、800、1000及2000 nm 2.奈米顆粒陣列：Pt、Au、Ni、FePt， 尺寸：~ 100 nm 3.奈米蜂窩結構：Fe2O3、NiO、ZnO， 高度：< 20 nm 4.奈米反應槽： Au、Pt， 尺寸：~ 100 nm |
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應用領域: 1.光學元件：光子晶體、生醫元件、非線性光學元件 2.奈米元件：奈米反應槽、奈米場發射元件 |
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