真空技術組簡介
佈 告 欄
研究成員
專利與著作
光學薄膜設備及製程技術
薄膜測試實驗室
原子層沉積技術(ALD)
脈衝雷射蒸鍍系統(PLD)
化學束磊晶系統(CBE)
奈米球模板
系統委製維修技術服務
CNLA認證真空校正實驗室
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真空技術組簡介 |
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研究成員 |
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專利與著作 |
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光學薄膜設備及製程技術 |
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薄膜測試實驗室 |
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原子層沉積技術(ALD) |
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脈衝雷射蒸鍍系統(PLD) |
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化學束磊晶系統(CBE) |
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奈米球模板 |
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系統委製維修技術服務 |
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CNLA認證真空校正實驗室 |
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