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真空技術組簡介 |
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佈 告 欄 |
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研究成員 |
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專利與著作 |
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光學薄膜設備及製程技術 |
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簡 介: 為維護國內儀器資源及落實儀器研發本土化，本中心以真空技術領域之豐富經驗，長期支援國內學術界及工業界之真空系統維修服務，並積極開發各種關鍵元件及系統研製技術。 |
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薄膜測試實驗室 |
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原子層沉積技術(ALD) |
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脈衝雷射蒸鍍系統(PLD) |
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技術能量: 1.真空系統設計組裝 2.真空材料與元件加工製作 3.真空系統維修 |
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化學束磊晶系統(CBE) |
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奈米球模板 |
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系統委製維修技術服務 |
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CNLA認證真空校正實驗室 |
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應用領域: 1.冷凍幫浦 2.擴散幫浦 3.變容積迴轉式幫浦 4.電子顯微鏡 5.流量控制器 6.氣相層析質譜儀 |
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